用途別事例 乾燥
エアヒーターやハロゲンヒーターを使用し、マーキング印字後の乾燥、ウェハー洗浄後の乾燥、シート接着後の乾燥等に使用できます。
マーキング印字後の乾燥用途
スーパーエアヒーター
- エアヒーターの熱風により、マーキング印字後の乾燥に使用できます。
- 印字乾燥部（ワーク）のサイズによりエアヒーターの先端吹き出し形状を変更することが可能です。
- 温度やエアー量（流量）を変更することで、熱量のコントロールが容易です。
対応製品
ハロゲンスポットヒーター
- ハロゲンヒーターの近赤外光により、マーキング印字後の乾燥に使用できます。
- 立ち上がり時間が早いので間欠的な加熱が可能です。
対応製品
シリコンウェハー洗浄後の乾燥
- ハロゲンヒーターの赤外光により、シリコンウェハー洗浄後の乾燥に使用できます。
- 立ち上がり時間が早いので間欠的な加熱が可能です。
- 赤外光によりクリーンな加熱（乾燥）が可能です。
対応製品
シート張り合わせ、接着後の乾燥
- シート張り合わせの接着部を極小加熱することができます。
- 温度やエアー量（流量）を変更することで、熱量のコントロールが容易です。
対応製品
